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短弧汞氙灯

短弧汞氙灯

 详情说明

短弧放电光源,用于半导体设备中提供高亮度、高能量密度的紫外及可见光辐射,广泛应用于光刻曝光、光学检测及材料光照工艺。

氙短弧灯(Xenon Short-Arc Lamp)或汞氙短弧灯(Hg-Xe Lamp)

中间球形放电腔(短弧结构)

两端粗电极

石英灯体

单端供电结构

外接编织引线(高电流接地/回路线)

内部电极间距极短(短弧灯典型结构)

应用:

Short Arc Lamp

Xe Arc Lamp

Hg-Xe Lamp

UV Arc Source

曝光光源灯

⭐ 主要用途:紫外光源 / 高强度宽谱光源

1️⃣ 光刻设备光源(传统或特殊工艺)

作用:

提供高亮度UV光

曝光光刻胶

特点:

高亮度

高能量密度

光谱连续或带谱线

2️⃣ 检测 / 光学量测设备

用于:

缺陷检测

表面检测

光学检测系统

显微检测光源

优点:

光强稳定

光谱宽

色温高

3️⃣ 材料光照工艺

UV固化

表面处理

光催化测试

材料老化测试

核心优势

特性       工程意义

极高亮度     可聚焦到微米级

光谱宽      覆盖UV–可见–IR

光斑小      适合精密光学系统

功率密度高    提供高能量曝光

适用于PCB/FPD/半导体行业曝光机设备。

国内首个国产化汞灯技术团队,可以为客户提供性价比最高的产品和服务。